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中圖儀器白光干涉儀可以設置分析模板，提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對精密工件微觀形貌的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

中圖儀器的SuperView W1三維白光形貌干涉儀一體化操作的測量與分析軟件，提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能，可實現(xiàn)批量測量功能。能真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質量。