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SuperViewW1中圖3d光學(xué)輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW1中圖儀器3d光學(xué)輪廓測量儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器。它具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW1中圖3d輪廓測量儀器是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

SuperViewW1中圖輪廓測量儀器是以白光干涉技術(shù)為原理的，一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

SuperViewW1三維形貌儀光學(xué)輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

SuperViewW1中圖儀器3d輪廓測量儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。